一、虛漏：
虛漏是由于設(shè)計或制造加工工藝不當，在真空鍍膜設(shè)備內(nèi)形成貯存氣源的洞穴，這些氣體在真空環(huán)境下慢慢釋放出來，形同漏氣，簡稱虛漏。
例如，真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的緊固螺釘沒有出氣孔，焊縫交叉設(shè)計，焊接不完善留有孔穴等都會造成虛漏現(xiàn)象。
二、漏孔：
漏孔是真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的電真空器件中直徑微米數(shù)量級的小漏孔，空氣中的塵?；蛞后w都很容易造成漏孔的堵塞，這些就算你當時修理好了也是暫時性的，檢漏時好像不漏，但經(jīng)過抽氣之后，又會出現(xiàn)漏氣。
所以為了檢查，一定要仔細處理好檢漏部位，盡量不用手去摸被檢測區(qū)域，避免塵?；蛴椭氯┛?。
