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真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法

作者:溫州馳誠真空機械有限公司  來源:http://www.hxhlg.com  更新時間:2017-1-19 11:34:03  點擊次數(shù):

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設(shè)備正常工作時, 主開關(guān)電路中的開關(guān)管處于飽和導通狀態(tài), 管壓降保持在100V 左右, 柵極得到正偏壓50V, 高壓指示6kV (或10kV)。從檢測電路R21上得到的電壓控制信號不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于截止狀態(tài),而BG11、BG12、BG13處于導通狀態(tài),由BG11輸出一個2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10 得到2.5V的電壓控制信號而處于導通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開關(guān)管通過D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時BG7、BG8也處于導通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導通,提供主開關(guān)管柵極恒定的電流。由于BG10處于導通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號UR2的控制。當UR2<UD2時, 輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。
在真空鍍膜設(shè)備不正常情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現(xiàn)高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預定值,主開關(guān)管處于截止狀態(tài),承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測電路R21取得的過流信號,使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于導通狀態(tài),C13通過BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13 很快截止,BG11 輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號而截止,BG9立刻導通,550V正端通過BG9接到主開關(guān)管的陰極,負端通過D5管接到主開關(guān)管的柵極,主開關(guān)管得到-550V偏壓而進入深度截止,此時高壓就沒有指示了。
真空鍍膜設(shè)備檢漏方法真空鍍膜機廠家介紹檢查漏氣情況是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項檢查措施,簡稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。
一般真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的連接位細縫中產(chǎn)生,當抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強下降,外部與內(nèi)部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內(nèi),造成真空度下降。
真空鍍膜設(shè)備廠家介紹在檢漏的過程中,需要注意一些問題,才能把檢漏工作做好。
  第一,要確認漏氣到底的虛漏還是實漏,因為工件材料加熱后都會在不同程度上產(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。
  第二,測試好真空室的氣體密封性能,確保氣密性能符合要求。
  第三,檢查漏孔的大小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實施。
  第四,確定檢測儀器的最小可檢漏率和檢漏靈敏性,以最大范圍的檢測出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準確性。
  第五,把握檢漏儀器的反應(yīng)時間和消除時間,把時間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時間少了,檢漏效果肯定差,時間長了,浪費檢漏氣體和人工電費。
  第六,還要避免漏孔堵塞,有時由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒有漏孔,但當這些堵塞物由于內(nèi)外壓強差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。
  為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。
真空鍍膜機
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